如何對(duì)潔凈室溫濕度進(jìn)行控制？

關(guān)鍵詞：潔凈室溫度控制，潔凈室溫濕度如何控制

潔凈室又可稱作無(wú)塵室（Cleanroom），通常用作專業(yè)工業(yè)生產(chǎn)或科學(xué)研究的一部分，包括制造藥品，集成電路，CRT，LCD，OLED和microLED顯示器等。潔凈室的設(shè)計(jì)是為了保持極低水平的微粒，如灰塵，空氣中的生物體，或汽化的微粒。確切地說(shuō)，潔凈室有一個(gè)受控的污染水平，該水平由在指定的顆粒尺寸下每立方米的顆粒數(shù)來(lái)規(guī)定。

潔凈室為什么需要溫濕度控制？

潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。

一般來(lái)說(shuō)，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度，濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。

此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清楚。相對(duì)濕度越高，粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35-45%。

溫濕度控制的特性

對(duì)濕空氣單純地加熱或制冷過(guò)程，是環(huán)境含濕量保持不變的過(guò)程，即jue對(duì)濕度保持不變的過(guò)程。

濕空氣經(jīng)過(guò)盤(pán)管加熱，溫度升高而相對(duì)濕度下降；相反，對(duì)冷卻過(guò)程，溫度下降而相對(duì)濕度相應(yīng)升高。

因此，我們可以得出，溫度和相對(duì)濕度是兩個(gè)不同方向的控制量，要使溫濕度同時(shí)向相同的趨勢(shì)變化，單純地靠加熱/冷卻過(guò)程是不能實(shí)現(xiàn)的。

冷卻去濕過(guò)程是濕空氣經(jīng)冷卻達(dá)到飽和后繼續(xù)制冷的過(guò)程，濕空氣經(jīng)過(guò)冷卻盤(pán)管析出水滴，從而降低了jue對(duì)濕度，起到降濕的作用。

所以，可以將空氣處理過(guò)程分為加熱、加熱加濕、制冷、制冷再熱和制冷加濕等5個(gè)部分。

實(shí)際過(guò)程中所采用的方法以及常見(jiàn)問(wèn)題

（1）冷熱水閥的控制問(wèn)題

溫度變化的方向與冷/熱水閥的動(dòng)作方向相反，通常是采用冬夏季分開(kāi)的運(yùn)行模式。這樣的做法在過(guò)度季節(jié)會(huì)難以判斷和確定運(yùn)行模式，很容易造成室內(nèi)溫濕度的失調(diào)。

（2）常規(guī)的處理方法及問(wèn)題

為了解決除濕問(wèn)題，通常采用濕度優(yōu)先的方法，冷水閥主要用來(lái)除濕，同時(shí)也造成溫度的下降，然后通過(guò)熱水閥的再熱，使溫濕度均能達(dá)到所要求的值。

這樣的做法雖然可以滿足設(shè)計(jì)要求，但在相當(dāng)多的時(shí)候，冷熱水閥使能量相互抵消，造成了能源的浪費(fèi)。

據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前我國(guó)空調(diào)系統(tǒng)的能耗占整個(gè)建筑物能耗的50%～60%。

因此，對(duì)空調(diào)設(shè)備進(jìn)行優(yōu)化控制，選擇合理的控制方法，對(duì)建筑節(jié)能具有重要的意義。

單純地采用回風(fēng)溫度閉環(huán)控制冷/熱水閥以控制室內(nèi)溫度的做法，其PID參數(shù)難以整定在合適的范圍內(nèi)，很難保證系統(tǒng)的穩(wěn)定性和精度。

如果調(diào)節(jié)動(dòng)作慢，造成提前開(kāi)機(jī)時(shí)間過(guò)長(zhǎng)；調(diào)節(jié)動(dòng)作快，則很容易造成系統(tǒng)的超調(diào)，甚至產(chǎn)生震蕩現(xiàn)象。

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